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北京恒奧德儀器儀表有限公司
聯(lián)系人:王蕊
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辦公地址:北京市海淀區(qū)富海中心
恒奧德儀旋轉涂布機智能程控勻膠機的操作使用
點擊次數(shù):138 更新時間:2026-04-22
?恒奧德儀旋轉涂布機智能程控勻膠機?的操作使用
主要包括設備準備、參數(shù)設置、基片固定、滴膠、旋涂運行和后續(xù)處理等關鍵步驟。以下是基于高可信度資料整理的標準操作流程:
?開機與初始化?
開啟設備電源及真空泵電源,檢查設備狀態(tài)是否正常(如氣源、電源、運動部件)。
?基片固定?
將基片放置于承片臺上,通過?真空吸附?方式固定,確?;又?,避免旋轉時偏移或飛片。
?參數(shù)設置?
在觸摸屏上設置旋涂參數(shù),包括:
?旋涂速度?:通常0–5000 rpm可調(diào),根據(jù)膠液粘度和膜厚需求設定。
?加速度?:影響膠液鋪展效果,需匹配膠體特性。
?時間?:每階段旋涂時間可設1–9999秒。
可預存多組程序(最多40種,每種40步),實現(xiàn)自動化控制。
?滴膠操作?
將光刻膠滴于基片中心或邊緣,滴膠量一般覆蓋基片直徑的50%為宜??刹捎渺o態(tài)滴膠(基片靜止時滴加)或動態(tài)滴膠(基片低速旋轉時滴加)。
?旋涂運行?
?低速預旋轉?(約500 rpm):使膠液初步鋪展。
?高速旋轉?(1500–6000 rpm):利用離心力將膠液均勻涂覆,轉速穩(wěn)定性直接影響膜厚均勻性。
?去邊處理?:通過上下刮邊技術清除邊緣多余膠液。
?烘烤與冷卻?(如設備集成加熱模塊)
按工藝要求進行加熱固化,溫度范圍可至200℃,隨后自然冷卻或風冷至安全溫度(如60℃以下)后取片。
?結束操作?
程序結束后,關閉真空,打開上蓋,小心取下基片
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